»ó´Ü¿©¹é
HOME ´º½ºÁ¾ÇÕ »ê¾÷
KLA, ÀüÀÚºö ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °áÇÔ °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ ¡®eSL10¢â¡¯ °³¹ß±âÁ¸ ±¤ÇÐ Àåºñ³ª ÀüÀÚºö °áÇÔ °Ë»ç Ç÷§ÆûÀ¸·Î °ËÃâÇÒ ¼ö ¾ø´Â °áÇÔ °ËÃâ, º¸°í °¡´É
ÁÖÀ±¼º ±âÀÚ | ½ÂÀÎ 2020.07.22 03:39

[´º½º¿¡ÀÌ = ÁÖÀ±¼º ±âÀÚ] KLA CorporationÀº Çõ½ÅÀûÀÎ eSL10™ ÀüÀÚºö ÆÐÅÏ ¿þÀÌÆÛ °áÇÔ °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ(e-beam patterned-wafer defect inspection system)À» °³¹ßÇß´Ù°í 21ÀÏ ¹ßÇ¥Çß´Ù.

ÀÌ »õ·Î¿î ½Ã½ºÅÛÀº ±âÁ¸ ±¤ÇÐ Àåºñ³ª ´Ù¸¥ ÀüÀÚºö °áÇÔ °Ë»ç Ç÷§ÆûÀ¸·Î´Â °ËÃâÇÒ ¼ö ¾ø´Â °áÇÔÀ» °ËÃâ, º¸°íÇÑ´Ù. ±ØÀڿܼ±(EUV) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤À¸·Î Á¦Á¶µÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» ºñ·ÔÇØ °í¼º´É ·ÎÁ÷°ú ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ĨÀÇ Ãâ½Ã ½Ã±â¸¦ ¾Õ´ç±âµµ·Ï ¼³°èµÈ Á¦Ç°ÀÌ´Ù.

¿À·£ ¿¬±¸ °³¹ßÀÇ ¼º°ú°¡ ¹Ý¿µµÈ ´Ù¾çÇÑ Çõ½ÅÀû ±â¼úÀ» µµÀÔÇØ Ã³À½ºÎÅÍ ³¡±îÁö »õ·Ó°Ô ¼³°èµÈ eSL10Àº ½ÃÁß ´Ù¸¥ ÀüÀÚºö ½Ã½ºÅÛº¸´Ù ¶Ù¾î³­ °íÇØ»óµµ °í¼Ó °Ë»ç ¿ª·®À» Á¦°øÇÑ´Ù.

KLA e-beam ºÎ¹®ÀÇ ¾Æ¹Ì¸£ ¾ÆÁ¶¸£µ¥°£(Amir Azordegan) ÃÑ°ý ¸Å´ÏÀú´Â “´ÜÀÏ °íÀü·ù¹Ðµµ ÀüÀÚºöÀ» »ç¿ëÇÏ´Â eSL10 ½Ã½ºÅÛÀº ÀüÀÚºö °Ë»ç ´É·ÂÀ» »õ·Î¿î ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã·È´Ù”¸ç “Áö±Ý±îÁö ±âÁ¸ ÀüÀÚºö °Ë»ç ½Ã½ºÅÛÀº ³ôÀº °¨µµ¿Í ºü¸¥ ¼Óµµ Áß Çϳª¸¸ Á¦°øÇßÀ¸¸ç ÀÌ´Â ½Ã½ºÅÛÀÇ ½ÇÁ¦ ÀÀ¿ëÀ» Å©°Ô Á¦ÇÑÇß´Ù. ¿ì¸®ÀÇ ¶Ù¾î³­ ¿£Áö´Ï¾î¸µ ÆÀÀº ÀüÀÚºö ¾ÆÅ°ÅØó¿Í ¾Ë°í¸®Áò¿¡ ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î ¹æ½ÄÀ¸·Î Á¢±ÙÇØ ±âÁ¸ ÅøÀÌ Ç®Áö ¸øÇß´ø ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛÀ» ¼³°èÇß´Ù. KLAÀÇ ÀüÀÚºö °Ë»ç´Â ÷´Ü µð¹ÙÀ̽º Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Àåºñ·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

eSL10 ÀüÀÚºö °Ë»ç ½Ã½ºÅÛÀº Áß´ëÇÑ °áÇÔ °ËÃâÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ º¸°­ÇÑ ¸î °¡Áö Çõ½ÅÀû ±â¼úÀ» žÀçÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛ¿¡´Â °íÀ¯ÀÇ ÀüÀÚ ±¤ÇÐ ¼³°è°¡ Àû¿ëµÆ´Ù. µû¶ó¼­ ´Ù¾çÇÑ Á¾·ùÀÇ °øÁ¤ Ãþ°ú ¸ðµç µð¹ÙÀ̽º À¯ÇüÀÇ °áÇÔ °ËÃâÀ» À§ÇØ ¾÷°è¿¡¼­ °¡Àå Æø³ÐÀº ¿î¿ë ¹üÀ§¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.

¿»·Î¿ì½ºÅæ(Yellowstone™) ½ºÄ³´× ¸ðµå¿¡¼­´Â ½ºÄµ 1¹ø¿¡ 100¾ï Çȼ¿ÀÇ Á¤º¸¸¦ »ç¿ëÇØ ³ôÀº Çػ󵵸¦ À¯ÁöÇϸ鼭 ºü¸¥ ¼Óµµ·Î ¿î¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀǽɵǴ ÇÖ½ºÆÌÀÇ È¿À²ÀûÀÎ °Ë»ç¿Í ±¤¹üÀ§ÇÑ ¿µ¿ªÀÇ °áÇÔ °ËÃâÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. Simul-6™ ¼¾¼­ ±â¼úÀº ´Ü ÇÑ ¹øÀÇ ½ºÄµÀ¸·Î Ç¥¸é, Çü»ó, Àç·á ¸í¾Ï, µö Æ®·»Ä¡(deep trench) Á¤º¸¸¦ ¸ðµÎ ¼öÁýÇØ µð¹ÙÀ̽º ±¸Á¶¿Í Àç·á¿¡ ´ëÇÑ ´Ù¸¥ °áÇÔ À¯ÇüÀ» ½Äº°ÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ½Ã°£À» ÁÙ¿©ÁØ´Ù.

eSL10Àº ÷´Ü ÀΰøÁö´É(AI) ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î IC Á¦Á¶¾÷ÀÇ ÁøÈ­ÇÏ´Â °Ë»ç Á¶°Ç¿¡ ÀûÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â µö ·¯´× ¾Ë°í¸®ÁòÀ» »ç¿ëÇØ µð¹ÙÀ̽º ¼º´É¿¡ Áß´ëÇÑ ¿µÇâÀ» ³¢Ä¡´Â °áÇÔµéÀ» ±¸º°Çس½´Ù.

¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀº ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» À§ÇÑ 3D NAND¿Í DRAMÀ̳ª ·ÎÁ÷ ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» À§ÇÑ finFET¿Í Gate All Around(GAA) Æ®·£Áö½ºÅÍ µî 3Â÷¿ø µð¹ÙÀ̽º ¾ÆÅ°ÅØó¸¦ À§ÇØ ±âÁ¸ °áÇÔ °ü¸® Àü·«À» ´Ù½Ã »ý°¢Çغ¼ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù.

eSL10 ½Ã½ºÅÛ°ú KLAÀÇ Ç÷¡±×½Ê 39xx(‘Gen5’) ¹× 29xx(‘Gen4’) ºê·Îµå¹êµå ±¤ÇÐ ¿þÀÌÆÛ °áÇÔ °Ë»ç ½Ã½ºÅÛÀ» Á¶ÇÕÇϸé ÷´Ü IC ±â¼úÀ» À§ÇÑ °­·ÂÇÑ °áÇÔ °ËÃâ ¹× ¸ð´ÏÅ͸µ ¼Ö·ç¼ÇÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛµéÀº ¼öÀ²°ú ½Å·Ú¼ºÀ» °¡¼ÓÈ­ÇÏ°í ¿¬±¸ °³¹ßºÎÅÍ ¾ç»ê±îÁö Áß´ëÇÑ °áÇÔÀ» ´õ ºü¸£°Ô ã¾Æ³»¸ç ¹®Á¦ ÇØ°áÀ» ºü¸£°Ô µ½´Â´Ù.

»õ·Î¿î eSL10 Ç÷§ÆûÀº ÀüÀÚºö °Ë»ç ¹× °èÃø ºÐ¾ß Àü¹Ý¿¡ ³Î¸® È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â È®À强µµ °®Ãß°í ÀÖ´Ù. ¸î¸î eSL10 ½Ã½ºÅÛÀº ÷´Ü ·ÎÁ÷, ¸Þ¸ð¸®, ¿À¸®Áö³Î Àåºñ Á¦Á¶ ¾÷ü¿¡¼­ ¿î¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº Á¦Á¶ ¾÷ü°¡ Â÷¼¼´ë °øÁ¤°ú µð¹ÙÀ̽º¸¦ Á¦Á¶, °³¹ßÇÏ°í ¾÷¹« °úÁ¤À» ¸ð´ÏÅ͸µÇÏ¸ç »ý»ê·®À» ´Ã¸± ¼ö ÀÖµµ·Ï µ½´Â´Ù.

eSL10 ½Ã½ºÅÛÀº ³ôÀº ¼º´É°ú »ý»ê¼ºÀ» À¯ÁöÇϱâ À§ÇØ KLA ±Û·Î¹ú Á¾ÇÕ ¼­ºñ½º ³×Æ®¿öÅ©ÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ´Â´Ù. »õ·Î¿î ÀüÀÚºö °áÇÔ °Ë»ç ½Ã½ºÅÛ¿¡ ´ëÇÑ ´õ ÀÚ¼¼ÇÑ Á¤º¸´Â eSL10 Á¦Ç° ÆäÀÌÁö¿¡¼­ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¹Ì·¡ ¿¹Ãø Áø¼ú:

¿ª»çÀû »ç½ÇÀ» Á¦¿ÜÇÑ ÀÌ º¸µµÀÚ·áÀÇ Áø¼ú(¿¹¸¦ µé¸é eSL10, 29xx ¹× 39 xx ½Ã½ºÅÛÀÇ ¿¹»ó ¼º´ÉÀ̳ª ¿þÀÌÆÛ, Àåºñ, Àç·á, Ĩ Á¦Á¶ ½Ã¼³ÀÇ °áÇÔ °¨¼Ò¿¡ µû¸¥ °æÁ¦Àû È¿°ú¿¡ °üÇÑ Áø¼ú µî)Àº ¹Ì·¡ ¿¹Ãø Áø¼ú¿¡ ÇØ´çÇϸç 1995³â ¹Î»çÁõ±Ç¼Ò¼Û°³Çõ¹ý(Private Securities Litigation Reform Act)¿¡ µû¶ó ¼¼ÀÌÇÁ ÇϹö(Safe Harbor) Á¶Ç× Àû¿ë ´ë»óÀÌ´Ù. ÀÌ ¹Ì·¡ ¿¹Ãø Áø¼úÀº ÇöÀç Á¤º¸¿Í ¿¹»óÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Çϸç À§Çè°ú ºÒÈ®½Ç¼ºÀ» ³»Æ÷ÇÏ°í ÀÖ´Ù. »õ·Î¿î ±â¼ú µµÀÔÀÇ Áö¿¬(ºñ¿ë, ¼º´ÉÀÇ ¹®Á¦³ª ±× ¹ÛÀÇ ¹®Á¦¿¡ µû¸¥ Áö¿¬), Ÿ»çÀÇ °æÀï Á¦Ç° Ãâ½Ã, KLA Á¦Ç°ÀÇ ±¸Çö·¼º´É·»ç¿ë¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ ±â¼úÀû ¹®Á¦ ¹× ÇÑ°è¿Í °°Àº ´Ù¾çÇÑ ¿ä¼Ò¿¡ µû¶ó ÀÌ·¯ÇÑ Áø¼ú¿¡¼­ ¿¹»óÇÑ °á°ú´Â ½ÇÁ¦ °á°ú¿Í Å©°Ô ´Ù¸¦ ¼öµµ ÀÖ´Ù.

ÁÖÀ±¼º ±âÀÚ  newsa@newsa.co.kr

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ´º½º¿¡ÀÌ, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

ÁÖÀ±¼º ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
´ëÇ¥Àλ縻¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ
¼­¿ïƯº°½Ã ±Ýõ±¸ ½ÃÈï´ë·Î18±æ 9 (½ÃÈﵿ) 201È£  |  ´ëÇ¥ÀüÈ­ : 02-6083-0691   |   Æѽº : 02-6406-0691    
À̸ÞÀÏ : newsa@newsa.co.kr
µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï ¾Æ 01287  |  µî·ÏÀÏ : 2008.05.09  |  ¹ßÇàÀÎ : Á¤±¹Èñ  |  ÆíÁýÀÎ : À̱¤¿ø  |  Ã»¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : ÀÌ»ç¶ó
´º½º¿¡ÀÌÀÇ ¸ðµç ÄÜÅÙÃ÷(±â»ç µî)´Â ÀúÀ۱ǹýÀÇ º¸È£¸¦ ¹ÞÀº¹Ù, ¹«´Ü ÀüÀç, º¹»ç, ¹èÆ÷ µîÀ» ±ÝÇÕ´Ï´Ù.
Copyright © 2024 ´º½º¿¡ÀÌ. All rights reserved.
Back to Top