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ÃÖº´¿õ ±âÀÚ | ½ÂÀÎ 2011.09.18 21:23
°í·Á´ëÇб³ ÀçÇÐ ÁßÀÎ ÀÌÀç¿ì Çлý(Àü±âÀüÀÚÀüÆÄ°øÇкΠ¹Ú»ç°úÁ¤, Áöµµ±³¼ö: ±è±ÔÅÂ)ÀÌ Á¦41ȸ À¯·´±¹Á¦¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚÇмú´ëȸ(European Solid-State Device Research Conference, ÀÌÇÏ ESSDERC, 2011.9.12~16)¿¡¼­ ¡®ÀþÀº°úÇÐÀÚ»ó¡¯À» ¼ö»óÇß´Ù.

ÀÌ´Â Áö³­ÇØ ½ºÆäÀÎ ¼¼ºñ¾Æ¿¡¼­ °³ÃÖµÈ Á¦40ȸ ESSDERC2010¿¡¼­ ¹ßÇ¥µÈ ³í¹® ¡°Experimental Analysis of Surface Roughness Scattering in FinFET devices¡±¿¡¼­ Â÷¼¼´ë¼ÒÀÚ·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Â FinFETÀÇ 3Â÷¿ø±¸Á¶Ç¥¸éƯ¼º°ú ¼ÒÀÚ¼º´É°£ÀÇ »ó°ü°ü°è¸¦ºñÆı«ÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ» Á¦½ÃÇÑ °Í¿¡ ´ëÇÑ ³ôÀº Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Ò±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.

FinFETÀº ¼ÒÀÚÀÇ ÁýÀûµµ°¡ ³ô¾ÆÁü¿¡ µû¶ó »ý±â´Â ºÎÀÛ¿ëÀ» ÁÙÀ̱â À§ÇÏ¿© 3Â÷¿øÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚÀÌ¸ç ¿ÃÇØ ÃÊ ÀÎÅÚ¿¡¼­ Â÷¼¼´ëÄÚ¾îÀÎ ¾ÆÀ̺ñºê¸´Áö(ivy Bridge)¿¡ Àû¿ë½Ãų °èȹÀ̶ó°í ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.

ESSDERCÀº IEEEÀÇ ÈÄ¿øÀ» ¹Þ¾Æ °³ÃÖµÇ¸ç ¸¶ÀÌÅ©·Î-³ª³ë¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ Çмú±³·ù¸¦ ¸ñÀûÀ¸·Î ÇÏ´Â ÇÐȸÀÌÀÚ »ï¼ºÀüÀÚ, ÇÏÀ̴нº µî ±¹³»¹ÝµµÃ¼°ü·Ã¾÷üµéµµ ´ë°Å Âü¿©ÇÏ´Â À¯·´ ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ÇÐȸ·Î, ESSDERC¿¡¼­ ¼ö¿©ÇÏ´Â ÀþÀº °úÇÐÀÚ»óÀº ÇÐȸ¿¡¼­ ¹ßÇ¥µÈ ¿¬±¸³»¿ë Áß ¿¬±¸ÀÇ µ¶Ã¢¼º°ú ±â¼úÀû Áß¿äµµ¸¦ Æò°¡ÇÏ¿© ÀþÀº °úÇÐÀÚµéÀÇ ¿ì¼öÇÑ ³í¹®¿¡ ¼ö¿©µÇ´Â »óÀÌ´Ù. À̹ø ½Ã»ó½ÄÀº Çɶõµå Çï½ÌÅ°¿¡¼­ ¿­¸° ESSDERC2011¿¡¼­ ÁøÇàµÆ´Ù.

ÀÌÀç¿ì ÇлýÀº ÇöÀç °í·Á´ë¿Í ÇÁ¶û½º ±×·Î³ëºí°ø°ú´ëÇÐ(INPG)¿¡¼­ °øµ¿¹Ú»çÇÐÀ§°úÁ¤À» ¹â°í ÀÖ´Ù.

ÃÖº´¿õ ±âÀÚ  080@newsa.co.kr

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