ÀÌ´Â Áö³ÇØ ½ºÆäÀÎ ¼¼ºñ¾Æ¿¡¼ °³ÃÖµÈ Á¦40ȸ ESSDERC2010¿¡¼ ¹ßÇ¥µÈ ³í¹® ¡°Experimental Analysis of Surface Roughness Scattering in FinFET devices¡±¿¡¼ Â÷¼¼´ë¼ÒÀÚ·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Â FinFETÀÇ 3Â÷¿ø±¸Á¶Ç¥¸éƯ¼º°ú ¼ÒÀÚ¼º´É°£ÀÇ »ó°ü°ü°è¸¦ºñÆı«ÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ» Á¦½ÃÇÑ °Í¿¡ ´ëÇÑ ³ôÀº Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Ò±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
FinFETÀº ¼ÒÀÚÀÇ ÁýÀûµµ°¡ ³ô¾ÆÁü¿¡ µû¶ó »ý±â´Â ºÎÀÛ¿ëÀ» ÁÙÀ̱â À§ÇÏ¿© 3Â÷¿øÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚÀÌ¸ç ¿ÃÇØ ÃÊ ÀÎÅÚ¿¡¼ Â÷¼¼´ëÄÚ¾îÀÎ ¾ÆÀ̺ñºê¸´Áö(ivy Bridge)¿¡ Àû¿ë½Ãų °èȹÀ̶ó°í ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ESSDERCÀº IEEEÀÇ ÈÄ¿øÀ» ¹Þ¾Æ °³ÃÖµÇ¸ç ¸¶ÀÌÅ©·Î-³ª³ë¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ Çмú±³·ù¸¦ ¸ñÀûÀ¸·Î ÇÏ´Â ÇÐȸÀÌÀÚ »ï¼ºÀüÀÚ, ÇÏÀ̴нº µî ±¹³»¹ÝµµÃ¼°ü·Ã¾÷üµéµµ ´ë°Å Âü¿©ÇÏ´Â À¯·´ ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ÇÐȸ·Î, ESSDERC¿¡¼ ¼ö¿©ÇÏ´Â ÀþÀº °úÇÐÀÚ»óÀº ÇÐȸ¿¡¼ ¹ßÇ¥µÈ ¿¬±¸³»¿ë Áß ¿¬±¸ÀÇ µ¶Ã¢¼º°ú ±â¼úÀû Áß¿äµµ¸¦ Æò°¡ÇÏ¿© ÀþÀº °úÇÐÀÚµéÀÇ ¿ì¼öÇÑ ³í¹®¿¡ ¼ö¿©µÇ´Â »óÀÌ´Ù. À̹ø ½Ã»ó½ÄÀº Çɶõµå Çï½ÌÅ°¿¡¼ ¿¸° ESSDERC2011¿¡¼ ÁøÇàµÆ´Ù.
ÀÌÀç¿ì ÇлýÀº ÇöÀç °í·Á´ë¿Í ÇÁ¶û½º ±×·Î³ëºí°ø°ú´ëÇÐ(INPG)¿¡¼ °øµ¿¹Ú»çÇÐÀ§°úÁ¤À» ¹â°í ÀÖ´Ù.
ÃÖº´¿õ ±âÀÚ 080@newsa.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ´º½º¿¡ÀÌ, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>